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羅茨真空泵極限真空和抽氣速率的測試

 

羅茨真空泵極限真空和抽氣速率的測試

1.極限真空的測試:測試極限真空,是泵在不連接容器的情況下,按規(guī)定的條件運轉(zhuǎn),待泵的溫升達到穩(wěn)定時,從泵的進口附近以真空計測出其穩(wěn)定的最低壓強。

測量極限真空采用的真空計,對于羅茨真空泵,按規(guī)定采用座式壓縮式真空計,且應準確讀出一位有效數(shù)字來表示。這種真空計必須經(jīng)具有±10%以上精度的壓縮式真空計校準。對于作為粗真空使用的直排大氣的羅茨真空泵,可采用管徑相等的開口或閉口U型水銀真空計,也可采用精度為±1mm單管水銀壓力表,不管使用哪種真空計,都應盡量靠近泵的吸氣口測量,連接用的真空橡膠管應盡可能短,以盡量減少誤差。

2.抽氣速率的測試:羅茨真空泵的抽氣速率測試,因其用途不同而采用不同的測試方法和儀器。按照部標規(guī)定,氣體流量小于5OTorr·L/s時,應采用低飽和蒸氣壓液體滴定管流址計,氣體流量大于50Torr·L/s時,應采用浮子流量計。 http://www.bttyby/

 


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